Микроскоп в чипе

Революцию в электронной микроскопии уже спустя несколько месяцев обещает молодая английская компания  NFAB, работающая в тесном содружестве с учеными из Солфордского и других университетов.

Революцию в электронной микроскопии уже спустя несколько месяцев обещает молодая английская компания NFAB, работающая в тесном содружестве с учеными из Солфордского и других европейских университетов. Там разрабатывается сканирующий электронный микроскоп принципиально нового типа, способный поместиться в миниатюрный чип и поз во ляющий разглядеть даже отдельные молекулы.

Современные сканирующие электронные микроскопы - это дорогие установки внушительных размеров, в которых созданы необходимые условия (глубокий вакуум, напряжение в десятки киловольт, сложнейшая система электронных линз и детекторов). Лучшие из них имеют разрешение в пять сотых нанометра, но большинство, из-за трудности фокусировки электронных пучков, обеспечивают разрешение не более десяти нанометров.

И вот всю эту груду дорогостоящего оборудования ученые предлагают заменить небольшими доступными чипами, которые будут изготавливаться по технологии микромеханических устройств с предельным напряжением в несколько сотен вольт.

Типичное разрешение у них достигнет одной сотой нанометра - в пять раз лучше, чем у рекордных образцов их старших собратьев. Кроме того, энергия электронного пучка и токи в новых микроскопах будут на несколько порядков меньше, что позволит исследовать даже «нежные» объекты вроде живых белков и ДНК.

Новинка чем-то похожа на туннельный или атомно-силовой сканирующий микроскоп. Электроны у нее испускает не большой горячий катод, а единственный атом золота на острие нанопирамидки, которая закреплена на конце подвижного кронштейна. Затем электроны пролетают через отверстия нескольких фокусирующих пластин из металла и кремния, на которые подается управляющее напряжение. Преодолев всего пять-десять микрон, электроны достигают изучаемого образца и, отражаясь от него, как обычно, попадают в детектор.

По расчетам разработчиков, высокого разрешения в новом микроскопе гораздо легче достичь благодаря тому, что электроны летят до образца не несколько десятков сантиметров, а всего несколько микрон, их в пучке мало, а значит, они меньше мешают друг другу. Однако использование только электростатических электронных линз сильно ограничивает возможности фокусировки электронов и коррекции аберраций.

Многие специалисты с энтузиазмом восприняли идеи, заложенные в новом электронном сканирующем микроскопе, хотя и скептически относятся к оценкам его рекордного разрешения.

Флуктуации энергии электронов и другие неоднородности могут легко разрушить теоретическую идиллию. Чтобы выяснить, кто из ученых окажется прав, остается подождать примерно полгода, когда появится первый рабочий прототип нового микроскопа. Но уже очевидно, что такие устройства будут весьма востребованы электронной промышленностью.